Cover Image

Studi Pengaruh Variasi Laju Aliran Gas Argon Pada Sistem Plasma Sputtering (Physical Vapor Deposition) Terhadap Pembentukan Lapisan Tipis Karbon Di Atas Substrat Kaca

Main Author: Alim, Syahirul
Format: Thesis NonPeerReviewed
Terbitan: , 2017
Subjects:
530 Physics
Online Access: http://repository.ub.ac.id/155235/
ctrlnum 155235
fullrecord <?xml version="1.0"?> <dc schemaLocation="http://www.openarchives.org/OAI/2.0/oai_dc/ http://www.openarchives.org/OAI/2.0/oai_dc.xsd"><relation>http://repository.ub.ac.id/155235/</relation><title>Studi Pengaruh Variasi Laju Aliran Gas Argon Pada Sistem Plasma Sputtering (Physical Vapor Deposition) Terhadap Pembentukan Lapisan Tipis Karbon Di Atas Substrat Kaca</title><creator>Alim, Syahirul</creator><subject>530 Physics</subject><description> Telah dilakukan deposisi lapisan tipis karbon di atas substrat dengan teknik sputtering. Bahan target yang dideposisi adalah karbon berbahan dasar tempurung kelapa diatas substrat kaca. Karbon dideposisi dengan mengalirkan gas argon pada variasi laju alir 25 ml/menit, 50 ml/menit, 75 ml/menit dan diberikan daya 100 watt frekuensi rendah selama 3 jam. Komposisi dan permukaan lapisan karbon diobservasi dengan FTIR dan SEM-EDX. Hasil pengamatan plasma menunjukkan bahwa laju alir gas argon yang semakin besar menghasilkan plasma yang semakin terang. Karakterisasi pada FTIR menunjukkan bahwa intensitas absorbansi karbon (C=C) yang teridentifikasi semakin menurun dengan meningkatnya laju alir gas argon. Hal tersebut dikarenakan semakin banyak Ion bombardment yang tidak hanya menumbuk bahan target (karbon), tetapi juga menumbuk substrat. Karakterisasi SEM-EDX menunjukkan bahwa hasil deposisi masih berupa butir pulau (island grain). Hal tersebut dikarenakan hasil morfologi pada SEM dan komposisi pada EDX tidak merata &#xD; </description><date>2017-01-26</date><type>Thesis:Thesis</type><type>PeerReview:NonPeerReviewed</type><identifier> Alim, Syahirul (2017) Studi Pengaruh Variasi Laju Aliran Gas Argon Pada Sistem Plasma Sputtering (Physical Vapor Deposition) Terhadap Pembentukan Lapisan Tipis Karbon Di Atas Substrat Kaca. Sarjana thesis, Universitas Brawijaya. </identifier><relation>SKR/MIPA/2017/192/051701794</relation><recordID>155235</recordID></dc>
format Thesis:Thesis
Thesis
PeerReview:NonPeerReviewed
PeerReview
author Alim, Syahirul
title Studi Pengaruh Variasi Laju Aliran Gas Argon Pada Sistem Plasma Sputtering (Physical Vapor Deposition) Terhadap Pembentukan Lapisan Tipis Karbon Di Atas Substrat Kaca
publishDate 2017
topic 530 Physics
url http://repository.ub.ac.id/155235/
contents Telah dilakukan deposisi lapisan tipis karbon di atas substrat dengan teknik sputtering. Bahan target yang dideposisi adalah karbon berbahan dasar tempurung kelapa diatas substrat kaca. Karbon dideposisi dengan mengalirkan gas argon pada variasi laju alir 25 ml/menit, 50 ml/menit, 75 ml/menit dan diberikan daya 100 watt frekuensi rendah selama 3 jam. Komposisi dan permukaan lapisan karbon diobservasi dengan FTIR dan SEM-EDX. Hasil pengamatan plasma menunjukkan bahwa laju alir gas argon yang semakin besar menghasilkan plasma yang semakin terang. Karakterisasi pada FTIR menunjukkan bahwa intensitas absorbansi karbon (C=C) yang teridentifikasi semakin menurun dengan meningkatnya laju alir gas argon. Hal tersebut dikarenakan semakin banyak Ion bombardment yang tidak hanya menumbuk bahan target (karbon), tetapi juga menumbuk substrat. Karakterisasi SEM-EDX menunjukkan bahwa hasil deposisi masih berupa butir pulau (island grain). Hal tersebut dikarenakan hasil morfologi pada SEM dan komposisi pada EDX tidak merata
id IOS4666.155235
institution Universitas Brawijaya
affiliation mill.onesearch.id
fkp2tn.onesearch.id
institution_id 30
institution_type library:university
library
library Perpustakaan Universitas Brawijaya
library_id 480
collection Repository Universitas Brawijaya
repository_id 4666
subject_area Indonesian Language Collection/Kumpulan Karya Umum dalam Bahasa Indonesia*
city MALANG
province JAWA TIMUR
shared_to_ipusnas_str 1
repoId IOS4666
first_indexed 2021-10-27T08:55:27Z
last_indexed 2021-10-28T07:41:21Z
recordtype dc
_version_ 1751454410439917568
score 17.538404

Lihat Juga