PENGARUH MEDAN DEPOSISI PADA STRUKTUR MIKRO, RESISTANSI DAN NISBAH MR LAPISAN TIPIS NiemYANG DISIAPKAN DENGAN DC MAGNETRON SPUTTERING
| Main Author: | Toifur, Moh. |
|---|---|
| Format: | Article info application/pdf eJournal |
| Bahasa: | ind |
| Terbitan: |
Center for Science & Technology of Advanced Materials - National Nuclear Energy Agency
, 2019
|
| Subjects: | |
| Online Access: |
http://jurnal.batan.go.id/index.php/jsmi/article/view/5200 http://jurnal.batan.go.id/index.php/jsmi/article/view/5200/4515 |
Daftar Isi:
- PENGARUH MEDAN DEPOSISI PADA STRUKTUR MIKRO, RESISTANSI DAN NISBAH MR LAPISAN TIPIS NiemYANG DISIAPKAN DENGAN DC MAGNETRON SPUTTERING. Telah dibuat lapisan tipis Ni80Fe20 pada suhu substrat 200°C berbantuan medan deposisi 600 gauss. Penelitian bertujuan untuk mengamati pengaruh medan deposisi terhadap struktur atom lapisan, resistansi dan efek MR. Dari spektrum. XRD dinyatakan bahwa lapisan berstruktur kristal dengan puncak-puncak difraksi pada sudut 37,45°, 43,4° dan 44,75° dan bersesuaian dengan unsur Fe2O3, NiFe dan NiO. Penambahan B menjadikan ukuran butir cenderung berkurang. Dari uji resistansi dengan probe 4 titik diperoleh resistansi maksimum sebesar l7407,04 ohm yang bersesuaian dengan medan deposisi 0 gauss, hal mana menunjukkan spin-spin elektron lapisan memiliki struktur paling acak. Sedangkan dari uji MR pada medan H = 0 — IS gauss diperoleh medan jenu-h (Hs) semua lapisan l2,5 gauss yang menunjukkan lapisan termasuk jenis soft magnetic. Nisbah MR terbesar 10,23 % yang bersesuaian dengan medan B = 0 gauss sedangkan nisbah MR terkecil 0,9 l % bersesuaian dengan medan B = 300 gauss. Lapisan yang pertama sesuai untuk sensor medan magnet berstruktur lapisan tunggal sedangkan lapisan yang kedua sesuai untuk membuat sensor medan magnet berstruktur multilapis.