Studi Pengaruh Hollow Cathode Pada Sistem Plasma Sputtering Terhadap Penumbuhan Lapisan Tipis Karbon (C) Di Atas Substrat Kaca Dengan Bahan Target Serbuk Tempurung Kelapa
| Main Author: | Hamdi, Miftahul |
|---|---|
| Format: | Thesis NonPeerReviewed |
| Terbitan: |
, 2017
|
| Subjects: | |
| Online Access: |
http://repository.ub.ac.id/155166/ |