PENGARUH VARIASI TEMPERATUR PENUMBUHAN TERHADAP KARAKTERISTIK SIFAT LISTRIK FILM TIPIS GaN DI ATAS Si (111) DENGAN METODE PA-MOCVD
Main Author: | Sutanto, Heri |
---|---|
Format: | Article PeerReviewed application/pdf |
Terbitan: |
Department of Physics, Universitas Diponegoro
, 2001
|
Subjects: | |
Online Access: |
http://eprints.undip.ac.id/2313/1/Pengaruh_Variasi_Temperatur_Penumbuhan_Terhadap_Karakteristik_Sifat_Listrik_Film_Tipis_GaN_diatas_Si_(111)_Dengan_Metode_PA-MOCVD.pdf http://eprints.undip.ac.id/2313/ |