Desain Tunable Kapasitor berbasis MEMS Menggunakan Comsol Multiphysics
| Main Authors: | Masfufiah, Ilmiatul, Wati, Trisna, Setiawati, Novie Elok |
|---|---|
| Format: | Article info application/pdf Proceeding |
| Bahasa: | eng |
| Terbitan: |
Institut Teknologi Adhi Tama Surabaya
, 2019
|
| Subjects: | |
| Online Access: |
https://ejurnal.itats.ac.id/sntekpan/article/view/619 https://ejurnal.itats.ac.id/sntekpan/article/view/619/419 |
Daftar Isi:
- Simulasi penyajian kapasitor MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems) ini menggunakan perangkat lunak COMSOL Multiphysics 5.0.Penelitian ini terdiri dari merancang dan menyetel atau tining kapasitor pelat paralel yang dapat diatur secara elektrostatis untuk mendapatkan peningkatan nilai kapasitansi. Menyetel nilai kapasitansi dengan mengubah parameter desain kapasitor telah dilakukan dan ditunjukkan dengan 3 cara yaitu: dengan mengubah bahan dielektrik, mengurangi ketinggian pegas, dan memperluas area kapasitor.