DEPOSISI LAPISAN TIPIS ZnO:Al PADA SUBSTRAT ALUMINA UNTUK BAHAN SENSOR GAS
| Main Authors: | Sayono, Sayono, Sujitno, Tjipto |
|---|---|
| Format: | Article info application/pdf eJournal |
| Bahasa: | ind |
| Terbitan: |
PSTA BATAN
, 2007
|
| Online Access: |
http://jurnal.batan.go.id/index.php/ganendra/article/view/165 http://jurnal.batan.go.id/index.php/ganendra/article/view/165/149 |
Daftar Isi:
- DEPOSISI LAPISAN TIPIS ZnO:Al PADA SUBSTRAT ALUMINA UNTUK BAHAN SENSOR GAS. Telah dilakukandeposisi lapisan tipis ZnO:Al pada substrat alumina menggunakan teknik DC Sputtering untuk aplikasi sensor gas.Deposisi lapisan tipis ZnO:Al dilakukan dengan parameter proses sputtering tegangan elektroda DC sebesar 2.2 kV,arus 10 mA dan suhu substrat 250oC, waktu deposisi divariasi 30 - 150 menit dengan interval 30 menit dan tekanandivariasi masing-masing : 1 ́ 10-2 atm, 2 ́ 10-2 atm, 3 ́ 10-2 atm, 4 ́ 10-2 atm dan 5 ́ 10-2 atm. Dari hasilkarakterisasi diperoleh nilai resistansi terendah sebesar 64 kΩ diperoleh pada kondisi waktu deposisi 90 menit dantekanan operasi 4 ́ 10-2 atm. Hasil pengukuran sensitivitas menunjukkan bahwa sensor gas dari bahan ZnO:Almempunyai sensitivitas tertinggi terhadap gas sensor C2H5OH sebesar 24%, untuk gas NH3 sebesar 19,77% danuntuk gas SO2 sebesar 17,53% pada 141,54 konsentrasi/volume.