Pengaruh Tekanan Gas Argon Terhadap Perilaku Plasma
| Main Author: | Koten, David Suban |
|---|---|
| Format: | Thesis NonPeerReviewed |
| Terbitan: |
, 2017
|
| Subjects: | |
| Online Access: |
http://repository.ub.ac.id/9030/ |
Daftar Isi:
- Plasma merupakan gas yang terionisasi, yaitu substansi yang elektron-elektronnya keluar dari orbit tiap atom dan dapat dibuat dengan cara memanaskan gas atau dengan cara memaparkan medan elektromagnetik yang cukup kuat menggunakan laser atau pembangkit gelombang mikro. Masalah utama dalam pembuatan reaktor plasma adalah bagaimana merancang sistem reaktor plasma yang mempunyai tekanan yang rendah (vacuum) dan menghasilkan debit plasma yang tinggi. Metode yang umum digunakan dalam pembangkitan plasma pada dunia industri adalah CCP (capacitively coupled plasma). Metode CCP adalah metode yang menggunakan dua elektroda logam yang terpisah dalam jarak yang cukup dekat dan ditempatkan di dalam sebuah reaktor. Tekanan gas dalam reaktor tersebut bisa sama atau lebih rendah dari tekanan atmosfer. Dalam penelitian ini diulas bagaimana merancang generator plasma tegangan tinggi, sehingga dapat memasok tegangan arus searah (DC) untuk membangkitkan plasma di dalam ruangan reaktor yang berisi gas argon tekanan rendah. Selain itu pada penelitian ini juga dilakukan analisa tegangan breakdown sampai ditemukan plotting hubungan antara tegangan breakdown dengan tekanan gas dan jarak antar elektroda. Diharapkan plotting tersebut bisa disesuaikan dengan kurva sesuai dengan Hukum Paschen dan mendapatkan hasil yang mendekati kurva ideal. Pada penelitian ini, desain generator plasma telah berhasil dirancang, yang meliputi catu daya dengan pengatur tegangan masukan, ruangan reaktor, elektroda dari bahan tembaga dengan tiga bentuk (bola, plat sejajar, dan jarum) yang bisa diatur jaraknya, pompa vakum, reservoir argon, instalasi pemipaan, serangkaian katup vakum, voltmeter, amperemeter, dan barometer. Plasma telah berhasil dibangkitkan oleh generator tersebut, yang mana dalam hal ini hanya memakai sebagian kecil dari tegangan maksimal yang mampu dihasilkan oleh catu daya, yaitu 300 V dari kapasitasnya sebesar 2000 V. Dari pengambilan data yang telah dilakukan, tegangan breakdown untuk jarak antar elektrode dan tekanan argon tertentu telah berhasil digambar dalam bentuk titik-titik pada grafik. Persamaan Kurva Paschen menggunakan Hukum Paschen menghasilkan model kurva yang mendekati hasil pengambilan data dengan nilai MSE 12.654,49 (menggunakan nilai � = 16 Pa·m-1, � = 125 V·Pa·m-1, dan ��� = 1,32). Sedangkan pendekatan polinomial mampu menghasilkan model kurva dengan nilai MSE 2,54 (menggunakan �� ��� � � ����� � ������ � ����� � ���� � � ����� � � �� � � ����� � � ���� � ���� � ����� � �� � ����� ) yang sangat mendekati hasil pengamatan.