Rancang Bangun Shutter Otomatis pada Thermal Evaporation menggunakan Hard Disk Drive Voice Coil Actuator dengan Driver H-Bridge IC L298
| Main Author: | Ardiansyah, Dimas Dwi Surya |
|---|---|
| Format: | Thesis NonPeerReviewed |
| Terbitan: |
, 2020
|
| Subjects: | |
| Online Access: |
http://repository.ub.ac.id/182213/ |
Daftar Isi:
- Evaporator thermal merupakan metode yang banyak digunakan untuk menghasilkan lapisan tipis. Lapisan tipis dipengaruhi oleh laju deposisi subtract dan lama waktu penguapan oleh karena itu perlu ditunjang suatu sistem yang dapat mempermudah dalam pengoperasian pada mesin evaporator salah satunya adalah dengan menggunakan shutter otomatis. Shutter yang berfungsi sebagai alat sekunder dalam sistem pendeposisian lapisan tipis cukup penting untuk menentukan tebal lapisan tipis yang terbentuk agar pendeposisian uap ke subtract kaca tepat pada saat bahan harus diuapkan menuju subtract.. sistem manual dari besi ulir seringkali kurang tepat membuka saat bahan siap untuk diuapkan dan menutup saat keadaan vacuum. hal ini dikarenakan sistem shutter manual mengacu pada stopwatch dan pengamat. Oleh karena itu, dibutuhkan sistem shutter otomatis agar meningkatkan keefektifan operasi kerja mesin evaporator thermal sistem PVD serta mengurangi kesalahan human eror dan tebal lapisan terbentuk sesuai yang diharapkan. Shutter otomatis dalam penelitian ini dirancang menggunakan sebuah motor dan beberapa sistem kontrol diantaranya voice coil actuator sebagai shutter, Driver H-Bridge IC L298 sebagai penggerak shutter, arduino, dan beberapa rangkaian simulasi dari sensor pirani gauge dan filament. Hasil penelitian ini menunjukan bahwa Shutter dapat membuka dan menutup otomatis berdasarkan pembacaan tekanan vacuum dan maksimal tegangan filament menguapkan suatu bahan. VCA yang digunakan memiliki jangkauan operasi tegangan yang dapat disesuaikan dengan ADC 10 bit.