Pengaruh Konsentrasi PEG-600, Kecepatan Putar Dan Suhu Anil Terhadap Lapisan Tipis Timbal Zirkonat Titanat
| Main Author: | Al-Bari, Akhmad |
|---|---|
| Format: | Thesis NonPeerReviewed Book |
| Bahasa: | eng |
| Terbitan: |
, 2018
|
| Subjects: | |
| Online Access: |
http://repository.ub.ac.id/177202/1/9.%20Lampiran%20%282%29.pdf http://repository.ub.ac.id/177202/2/Akhmad%20Al-Bari%20%282%29.pdf http://repository.ub.ac.id/177202/ |
Daftar Isi:
- Keramik Pb(ZrxTi1-x)O3 atau disebut PZT telah luas pemanfaatannya dalam dunia elektronika yang dibuat sebagai lapisan tipis. Metode sintesis sol-gel telah banyak digunakan untuk pembuatan lapis tipis PZT. Sol hasil sintesis harus tahan terhadap hidrolisis oleh keberadaan molekul air agar tidak terjadi presipitasi dalam hasil solnya yang menyebabkan mol menjadi tidak stoikiometri. PEG-600 adalah salah satu senyawa penstabil sol terhadap reaksi hidrolisis. Tujuan penelitian ini adalah untuk mengetahui efek penambahan PEG-600 terhadap sol PZT yang dihasilkan dan pengaruhnya terhadap lapisan. Perlakuan penambahan kecepatan putar dan suhu anil dilakukan untuk mengetahui efek teknik terhadap ukuran kristal dan homogenitas lapisan tipis. Penelitian ini menggunakan variasi penambahan PEG-600 dalam perbandingan asam asetat:PEG-600 = 1:5, 2:4, 3:3, 4:2, 5:5 yang dilapiskan pada substrat silikon dengan variasi kecepatan putar 1500 dan 2500 rpm serta variasi suhu anil 650 dan 700°C. Hasil sintesis menunjukkan sol terbaik terdapat pada rasio 1:5, 2:4, 3:3 dan 4:2 yang tanpa ditemukan presipitasi. Hasil pelapisan pada substrat ditemukan lapisan yang homogen pada variasi 2:4 dan 3:3 yang teramati dengan hkl (101), (201), (210) dan (002). Penambahan kecepatan putar dan suhu anil pada lapisan tipis PZT menyebabkan ukuran kristal meningkat dengan hasil lapisan yang merata dan terlihat semakin membentuk penggabungan butiran kristal (coalescence) pada rasio 2:4 dan 3:3.