Pengaruh Variasi Tegangan Listrik RF(Radio Frequency) AC Terhadap Nilai Temperatur Dan Densitas Elektron Pada Diagnostik Plasma Nitrogen Menggunakan Spektroskopi Emisi Optik
| Main Author: | Wijaya, Moch. Rizky |
|---|---|
| Format: | Thesis NonPeerReviewed Book |
| Bahasa: | eng |
| Terbitan: |
, 2018
|
| Subjects: | |
| Online Access: |
http://repository.ub.ac.id/168214/1/Moch.%20Rizky%20Wijaya%20%282%29.pdf http://repository.ub.ac.id/168214/ |
Daftar Isi:
- Perlakuan plasma nitrogen terhadap lapisan tipis polistirena pada kaca telah dilakukan. Lapisan polistirena dideposisi pada kaca dengan metode spin coating. Lapisan polistirena tersebut kemudian diberikan perlakuan plasma nitrogen dengan variasi tegangan listrik RF. Plasma nitrogen dibangkitkan dengan variasi tegangan listrik RF 60,70,80,90, dan 100 Volt. Variabel tetap yaitu tegangan DC 0 Volt, tekanan 40 Pa, laju alir gas nitrogen 40 ml/menit, dan perlakuan plasma selama 2 menit. Spektrum emisi plasma dikarakterisasi dengan Optical Emission Spectroscopy (Aurora 4000) dengan batas panjang gelombang 200 – 1100 nm dalam daerah plasma. Data spektrum emisi plasma kemudian dibandingkan dengan data acuan NIST. Spesies plasma nitrogen yang mendominasi adalah ion N II pada panjang gelombang 385,715 nm. Tegangan listrik RF meningkatkan nilai intensitas spesies plasma. Berdasarkan referensi, spesies plasma N II dengan intensitas tinggi dapat menurunkan hidrofobisitas permukaan lapisan polistirena. Penambahan tegangan RF pada plasma nitrogen menyebabkan bertambahnya temperatur elektron dan densitas elektron.