Studi Pengaruh Variasi Daya Generator Plasma Terhadap Laju Etsa Plasma Pada Kristal Sio2 Menggunakan Gas Ch2fcf3
| Main Author: | Hanif, MahardikaAuditia |
|---|---|
| Format: | Thesis NonPeerReviewed |
| Terbitan: |
, 2017
|
| Subjects: | |
| Online Access: |
http://repository.ub.ac.id/155233/ |
Internet
http://repository.ub.ac.id/155233/Lokasi
| Koleksi | Repository Universitas Brawijaya |
|---|---|
| Gedung | Perpustakaan Universitas Brawijaya |
| Institusi | Universitas Brawijaya |
| Kota | MALANG |
| Provinsi | JAWA TIMUR |
| Kontak | Butuh informasi lebih lanjut? Hubungi pustakawan institusi ini. |