Cover Image

Studi Pengaruh Waktu Deposisi Pada Sistem Plasma Sputtering Terhadap Pembentukan Lapisan Tipis Karbon Di Atas Substrat Kaca

Main Author: Anugrah, Syafri Devi
Format: Thesis NonPeerReviewed Book
Bahasa: eng
Terbitan: , 2017
Subjects:
530 Physics
Online Access: http://repository.ub.ac.id/155178/1/Syafri%20Devi%C2%A0Anugrah.pdf
http://repository.ub.ac.id/155178/
ctrlnum 155178
fullrecord <?xml version="1.0"?> <dc schemaLocation="http://www.openarchives.org/OAI/2.0/oai_dc/ http://www.openarchives.org/OAI/2.0/oai_dc.xsd"><relation>http://repository.ub.ac.id/155178/</relation><title>Studi Pengaruh Waktu Deposisi Pada Sistem Plasma Sputtering Terhadap Pembentukan Lapisan Tipis Karbon Di Atas Substrat Kaca</title><creator>Anugrah, Syafri Devi</creator><subject>530 Physics</subject><description>Bahan target karbon dari hasil karbonisasi tempurung kelapa dengan kemurnian tinggi di deposisikan pada kaca substrat dengan metode sputtering untuk mendapatkan lapisan tipis karbon. Tujuan dari penelitian ini adalah untuk mengetahui karakteristik lapisan tipis karbon dari hasil variasi waktu deposisi pada proses sputtering menggunakan FTIR dan SEM EDX. Variasi waktu deposisi yang digunakan adalah 60 menit, 120 menit, dan 180 menit pada jarak elektroda 15 mm dengan daya generator 200 watt dan laju aliran gas argon 25 mL/menit. Ikatan yang dianalisa dari data FTIR adalah ikatan C=C. Nilai absorbansi paling tinggi untuk ikatan C=C diberikan pada waktu 120 menit. Hal ini karena semakin lama waktu deposisi maka jumlah partikel yang terdeposisi semakin banyak, namun lapisan akan rusak karena terus menerus ditembaki oleh ion. Dari hasil Uji SEM-EDX memberikan informasi bahwa lapisan yang terdeposisi membentuk islands yang mengindikasikan bahwa lapisan karbon yang terdeposisi belum merata.</description><date>2017-01-26</date><type>Thesis:Thesis</type><type>PeerReview:NonPeerReviewed</type><type>Book:Book</type><language>eng</language><identifier>http://repository.ub.ac.id/155178/1/Syafri%20Devi%C2%A0Anugrah.pdf</identifier><identifier> Anugrah, Syafri Devi (2017) Studi Pengaruh Waktu Deposisi Pada Sistem Plasma Sputtering Terhadap Pembentukan Lapisan Tipis Karbon Di Atas Substrat Kaca. Sarjana thesis, Universitas Brawijaya. </identifier><relation>SKR/MIPA/2017/137/051701083</relation><recordID>155178</recordID></dc>
language eng
format Thesis:Thesis
Thesis
PeerReview:NonPeerReviewed
PeerReview
Book:Book
Book
author Anugrah, Syafri Devi
title Studi Pengaruh Waktu Deposisi Pada Sistem Plasma Sputtering Terhadap Pembentukan Lapisan Tipis Karbon Di Atas Substrat Kaca
publishDate 2017
topic 530 Physics
url http://repository.ub.ac.id/155178/1/Syafri%20Devi%C2%A0Anugrah.pdf
http://repository.ub.ac.id/155178/
contents Bahan target karbon dari hasil karbonisasi tempurung kelapa dengan kemurnian tinggi di deposisikan pada kaca substrat dengan metode sputtering untuk mendapatkan lapisan tipis karbon. Tujuan dari penelitian ini adalah untuk mengetahui karakteristik lapisan tipis karbon dari hasil variasi waktu deposisi pada proses sputtering menggunakan FTIR dan SEM EDX. Variasi waktu deposisi yang digunakan adalah 60 menit, 120 menit, dan 180 menit pada jarak elektroda 15 mm dengan daya generator 200 watt dan laju aliran gas argon 25 mL/menit. Ikatan yang dianalisa dari data FTIR adalah ikatan C=C. Nilai absorbansi paling tinggi untuk ikatan C=C diberikan pada waktu 120 menit. Hal ini karena semakin lama waktu deposisi maka jumlah partikel yang terdeposisi semakin banyak, namun lapisan akan rusak karena terus menerus ditembaki oleh ion. Dari hasil Uji SEM-EDX memberikan informasi bahwa lapisan yang terdeposisi membentuk islands yang mengindikasikan bahwa lapisan karbon yang terdeposisi belum merata.
id IOS4666.155178
institution Universitas Brawijaya
affiliation mill.onesearch.id
fkp2tn.onesearch.id
institution_id 30
institution_type library:university
library
library Perpustakaan Universitas Brawijaya
library_id 480
collection Repository Universitas Brawijaya
repository_id 4666
subject_area Indonesian Language Collection/Kumpulan Karya Umum dalam Bahasa Indonesia*
city MALANG
province JAWA TIMUR
shared_to_ipusnas_str 1
repoId IOS4666
first_indexed 2021-10-27T08:55:27Z
last_indexed 2021-10-28T07:41:21Z
recordtype dc
_version_ 1751454410775461888
score 17.538404

Lihat Juga