Pengaruh Kecepatan Putar Terhadap Struktur Kristal Barium Zirkonat Titanat Ba(Zrxti1-X)O3 Yang Dideposisi Dengan Metode Spin Coating
| Main Author: | Wardhani, EndahKusuma |
|---|---|
| Format: | Thesis NonPeerReviewed |
| Terbitan: |
, 2016
|
| Subjects: | |
| Online Access: |
http://repository.ub.ac.id/154957/ |
Daftar Isi:
- Telah dilakukan penelitian tentang pengaruh kecepatan putar terhadap struktur kristal BZT. Proses pembuatan larutan prekursor BZT dengan metode sol-gel dan penumbuhan kristal menggunakan metode spin coating di atas substrat Silikon (100). Proses pendeposisian dilakukan pada kecepatan 1000 rpm, 1500 rpm, dan 2000 rpm. Proses penganilan lapisan tipis dilakukan pada suhu 1100 ̊ C selama dua jam. Karakterisasi data menggunakan metode difraktometer sinar-X pada 2θ 15 ̊- 80 ̊ dengan kα 1,54060 Å. Hasil uji XRD menunjukkan bahwa kecepatan putar berpengaruh terhadap kehomogenan tipis. Peningkatan ketebalan berpengaruh terhadap ukuran butir kristal. Pada kecepatan putar optimal 1500 rpm orientasi bidang kristal yang terbentuk adalah (110), (111), dan (211) serta terjadi penurunan intensitas senyawa ZrO2.