Sintesis dan Karakterisasi Lapis Tipis Timbal Zirkonat Titanat Menggunakan Prekursor Zirkonium Nitrat dan Penstabil Asetil Aseton dengan Variasi Pemeraman
| Main Author: | A`yun, Qurratu |
|---|---|
| Format: | Thesis NonPeerReviewed |
| Terbitan: |
, 2016
|
| Subjects: | |
| Online Access: |
http://repository.ub.ac.id/154896/ |
Daftar Isi:
- Pada penelitian ini telah dilakukan penelitian tentang pengaruh modifikasi pelarut dalam sintesis PZT dengan metode sol-gel, dan pengaruh variasi pemeraman terhadap struktur kristal, morfologi, komposisi, ukuran kristal serta fase rhombohedral dan tetragonal lapis tipis timbal zirkonat titanat (PZT). Proses pembuatan prekursor PZT dilakukan dengan metode sol-gel menggunakan larutan penstabil asetil aseton dan penumbuhan lapis tipis PZT di atas substrat silikon (100) dengan metode spin coating. Pendeposisian prekursor timbal zirkonat titanat dilakukan dengan kecepatan putar 2000 rpm. Hasil analisis DTA-TGA menunjukkan puncak kristalinitas PZT pada temperatur 600,68 oC. Proses anil lapis tipis PZT pada suhu 600 oC selama dua jam. Karakterisasi data menggunakan instrumen difraktometer sinar-X pada 2θ 20o-80o dengan λ kα 1,540598 Å. Hasil XRD menunjukkan bahwa terbentuk lapisan perovskit PZT dengan orientasi bidang kristal (100), (101), (110), (111), (002), (200), (201), (210), dan (022) yang mengindikasikan kristal yang terbentuk adalah polikristalin. Pemeraman dengan pengadukan memiliki ukuran kristal terbesar yaitu sebesar 61,888 nm dengan fase rhombohedral dan tetragonal tertinggi yaitu sebesar 68,14 %.