Studi Sintesis Timbal Zirkonat Titanat Menggunakan Prekursor Zirkonium Nitrat dengan Metode Sol-Gel untuk Pembuatan Lapisan Tipis
Main Author: | Mustaqimah, AiliMillatus |
---|---|
Format: | Thesis NonPeerReviewed |
Terbitan: |
, 2016
|
Subjects: | |
Online Access: |
http://repository.ub.ac.id/154894/ |
Daftar Isi:
- Pelarut 2-metoksietanol digunakan sebagai pelarut dalam sintesis timbal zirkonat titanat (PZT) bersifat teratogenik dan dapat mempengaruhi kemurnian produk karena memiliki reaktifitas yang tinggi terhadap kelembapan udara. Penelitian ini bertujuan untuk mensintesis PZT tanpa menggunakan pelarut 2-metoksietanol sebagai larutan prekursor untuk pembuatan lapisan tipis. Sintesis dilakukan menggunakan zirkonium(IV) nitrat pentahidrat, timbal(II) asetat trihidrat, dan titanium(IV) butoksida dengan metode sol-gel. Preparasi larutan prekursor PZT dilakukan dalam tiga metode dengan modifikasi pelarut dan variasi proses sintesis yang berbeda. Pembuatan lapisan tipis PZT dikerjakan dengan teknik pelapisan memutar (spin coating) pada wafer silikon. Sintesis melalui metode 2 cenderung menghasilkan lapisan yang baik. Dalam metode tersebut digunakan pelarut sekaligus penstabil asam asetat, asam nitrat, dan asetilaseton, dengan penambahan air. Namun permukaan lapisan tipis yang terbentuk tidak rata dan memiliki ketebalan yang berbedabeda. Identifikasi kristal PZT menggunakan XRD menunjukkan bahwa PZT berupa kristalin. Orientasi bidang kristal yang muncul adalah (001), (101), (200), (201), (210), (112), (022), (212), dan (103). Puncak ZrO2 dan TiO2 dalam difraktogram menunjukkan larutan PZT yang diperoleh tidak murni. Ukuran kristal PZT sebesar 26,884 nm. Persentase fase rhombohedral dan tertragonal adalah 19,8% dan 80,2%.