Studi Pengaruh Ketebalan Lapisan Tipis Terhadap Struktur Kristal Lead Zirconate Titanate (PZT) yang Dideposisi dengan Metode Spin Coating
| Main Author: | Muhlis |
|---|---|
| Format: | Thesis NonPeerReviewed Book |
| Bahasa: | eng |
| Terbitan: |
, 2013
|
| Subjects: | |
| Online Access: |
http://repository.ub.ac.id/153699/1/Lengkap.pdf http://repository.ub.ac.id/153699/ |
Daftar Isi:
- Telah dilakukan studi pengaruh ketebalan lapisan tipis pada struktur kristal PZT. Lapisan tipis PZT dibuat dengan tehnik sol-gel serta ditumbuhkan di atas substrat silikon dengan metode penumbuhan spin coating. Penggunaan tehnik sol-gel dan metode spin coating diharapkan mampu menghasilkan lapisan tipis yang tingkat homogenitasnya tinggi. Struktur lapisan tipis dipelajari dengan menggunakan XRD dan SEM. Hasil XRD menunjukkan bahwa lapisan perovskit PZT dengan orientasi bidang kristal (100), (101), (111), (200), (102), (112) dan (022) mengindikasikan kristal dalam bentuk polikristal. Orientasi bidang kristal yang dihasilkan mengalami peningkatan intensitas yang sebanding dengan bertambahnya ketebalan ataupun jumlah volume larutan yang diberikan. Peningkatan ketebalan juga berpengaruh terhadap peningkatan ukuran grain yang dihasilkan terutama ukuran grain pada bidang kristal (100) dan (101).