Karakterisasi Temperatur Elektron (Te) Dan Densitas Elektron (Ne) Dari Spektroskopi Emisi Optik Untuk Plasma Gas Campuran Argon Dan Metana Yang Dihasilkan Dariplasma Enhanced Chemical Vapor Deposition
| Main Author: | Ukhtary, MShoufie |
|---|---|
| Format: | Thesis NonPeerReviewed Book |
| Bahasa: | eng |
| Terbitan: |
, 2013
|
| Subjects: | |
| Online Access: |
http://repository.ub.ac.id/153522/1/Skripsi.pdf http://repository.ub.ac.id/153522/ |
Daftar Isi:
- Plasma adalah gas yang terionisasi, sehingga elektron lepas dari atom-atom gas tersebut. Plasma dapat disebut sebagai kumpulan dari atom-atom, ion-ion dan elektron. Parameter plasma yang penting untuk mendeskripsikan plasma adalah temperatur(T_e) dan densitas elektron(n_e). Plasma dihasilkan oleh Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PE CVD). Data yang digunakan dalam penelitian ini adalah data spektrum Optical Emission Spectroscopy (OES). Kemudian spektrum tersebut dianalisis menggunakan program PeakFit untuk memperoleh posisi panjang gelombang dari transisi atomik dalam plasma serta intensitasnya. Jenis spesies ditentukan dengan mencocokan panjang gelombang dengan database National Institute of Standard and Technology (NIST). Selanjutnya, T_e dihitung menggunakan persamaan Bolztmann dan n_e dengan persamaan Saha-Bolztmann. Pada penelitian ini, laju alir gas dan tegangan pada plasma divariasi. Peningkatan laju alir gas argon mengakibatkan meningkatnya T_e dan n_e, tetapi peningkatan laju alir gas metana menyebabkanT_e dan n_eturun. Untuk variasi tegangan RF, T_e dan n_emeningkat seiring naiknya tegangan RF.Sebaliknya pada variasi tegangan negatif DC, semakin tinggi tegangan, semakin rendah T_e dan n_e.