Permodalan efek jendela pada pengukuran ellipsometri dengan menggunakan software matlab
| Main Author: | MohammadAbdullah |
|---|---|
| Format: | Thesis NonPeerReviewed Book |
| Bahasa: | eng |
| Terbitan: |
, 2009
|
| Subjects: | |
| Online Access: |
http://repository.ub.ac.id/152360/1/050900629.pdf http://repository.ub.ac.id/152360/ |
Daftar Isi:
- Ellipsometri adalah suatu teknik pengukuran konstanta optik dengan menganalisa fenomena polarisasi cahaya terpantul dari sampel. Pada pengukuran secara in-situ , data hasil pengukuran ellipsometri membutuhkan koreksi dikarenakan efek jendela. Koreksi dilakukan dengan menggunakan model matrik Jones dengan mencari besar intensitas cahaya pada sistem tanpa dan dengan jendela. Model matrik jones jendela didapat dari reduksi matrik Mueller jendela untuk mengoreksi efek jendela agar intensitas antara sistem jendela dan tanpa jendela mirip. Penjelasan konstanta optik sampel dapat diketahui dengan parameter Cauchy. Hasil model matrik Jones jendela mampu mengoreksi efek jendela pada sudut pengukuran 500, 550 dan 600 pada range panjang gelombang 300 – 800 nm. Hasil model parameter Cauchy menunjukkan sampel bersifat transparan dan non-dichroic karena sampel mengabsorpsi gelombang elektromagnetik pada range ultra violet.