FOCUSED ION BEAM MICROMACHINING
| Main Author: | Akhmad, Al Antoni |
|---|---|
| Format: | Article PeerReviewed application/pdf |
| Terbitan: |
Fakultas Teknik Unsri
, 2010
|
| Subjects: | |
| Online Access: |
http://eprints.unsri.ac.id/654/1/3.pdf http://eprints.unsri.ac.id/654/ |
Daftar Isi:
- Produk-produk modern yang dikembangkan sekarang banyak memiliki ukuran yang semakin kecil dalam skala mikrometer. Proses pembuatan komponen dalam skala mikrometer tersebut dapat dilakukan dengan Focused Ion Beam (FIB).Seiring dengan perkembangan zaman karena kemampuannya dapat digunakan untuk memproduksi benda-benda berukuran mikro maka FIB ini dikembangakan dengan micromachining atau sering disebut dengan Focused Ion Beam Micromachining(FIBM). Teknologi FIBM memiliki keunggulan dibandingkan teknik-teknik micromachining lainnya dikarenakan resolusi spasialnya yang tinggi dan kemampuan untuk pabrikasi tanpa maskant. Dengan mengatur parameter-parameter pemesinan, struktur-struktur dengan bentuk tiga dimensi kompleks yang berukuran mikro dapat dibua dengan FIBM ini.