Perancangan Sensor Cahaya Menggunakan Film BST Dengan Substrat Silikon 100 Type-P dan Indium Tin Oxide
| Main Authors: | ., Susanto, Liman, Johan, Tanudjaja, Harlianto |
|---|---|
| Format: | Article info eJournal |
| Bahasa: | eng |
| Terbitan: |
Program Studi Teknik Elektro
, 2018
|
| Subjects: | |
| Online Access: |
http://ojs.atmajaya.ac.id/index.php/jte/article/view/1263 http://ojs.atmajaya.ac.id/index.php/jte/article/view/1263/996 |
Daftar Isi:
- Tujuan dari penelitian ini untuk mengetahui sifat-sifat optik dari film tipis BST (B0,5S0,5TiO3) dengan 2 substrat yang berbeda yaitu substrat Indium Tin Oxide (ITO) dan substrat Silikon 100 tipe-p. Proses ini menggunakan metode Chemical Solution Decomposition (CSD) dengan substrat ditetesi larutan BST dan mengalami spin coating dengan kecepatan 3000 rpm selama 30 detik. Proses annealing dengan suhu 850 oC untuk substrat Silikon 100 tipe-p dan 200 oC untuk substrat ITO. Pengujian sifat optik yaitu sifat reflekstansi dari film tipis. Dari hasil pengujian untuk 6 sampel untuk setiap substrat, film tipis substrat silikon memiliki reflekstansi maksimum pada panjang gelombang 430-440 nm dan reflektansi minimum pada panjang gelombang 360-380 nm, sedangkan film tipis substrat ITO memiliki reflekstansi maksimum pada panjang gelombang 280 nm dan reflekstansi minimum pada panjang gelombang 380 nm dan kestabilan reflekstansi terjadi pada panjang gelombang 460-830 nm. Dari hasil pengukuran menggunakan spektrometer, celah pita energi dapat ditentukan dengan metode Kubelka-Monk dengan menggunakan relasi Tauc Plot. Hasil pada sensor bersubstrat silikon dapat bekerja dengan mendeteksi pengaruh cahaya tampak dan cahaya ultraviolet sedangkan pada sensor bersubstrat ITO dapat bekerja dengan mendeteksi pengaruh cahaya tampak.