TEKNOLOGI PROSES PRODUKSI SENSOR CAHAYA UNTUK PENGEMBANGAN ROBOTIK BERBASIS TEKNOLOGI LAPISAN TIPIS BAHAN FERROELEKTRIK BARIUM STRONSIUM TITANAT (BA0,55SR0,45TIO3)
| Main Authors: | Faanzir, Faanzir, Umar, Umar |
|---|---|
| Format: | Article info application/pdf Journal |
| Bahasa: | ind |
| Terbitan: |
Universitas Nusa Cendana
, 2013
|
| Online Access: |
https://ejurnal.undana.ac.id/index.php/jme/article/view/6277 https://ejurnal.undana.ac.id/index.php/jme/article/view/6277/3468 |
Daftar Isi:
- Ferroelectric thin films have been used for different applications in the fields of electronics and electric-optics. Barium Strontium Titanate (BST) is very attractive ferroelectric material and becomes the center of attention due to its various advantages, including low optical losses, low dielectric constant and high storage capacity. The purpose of this research is to find the optical and crystal structure properties of thin-film Ba0,55 Sr0.45Tio3 (BST)1 M. Annealing time was 15 hours at a temperature of 750°C and 775oC on p-type silicon subtract by using chemical solution decomposition (CSD) methods which is followed by spin coating process at 3000 rpm for 30 seconds. Optical properties test such as absorbance and transmittance analysis, showed that the increase in the annealing temperature can improve the absorbance properties and energy gap of BST. Energy gap obtained by using tauc plot are 3.05 eV for the annealing temperature of 750°C and 3.225 eV for the annealing temperature of 775oC. Crystal structure by X-Ray Diffraction (XRD) showed that the difference in annealing temperature causes a shift in the angle of diffraction. The pseudo tetragonal structure of Ba0,55 Sr0.45Tio3 becomes tetragonal (c / a <1) and the crystal structure have crystal orientation distribution.
- Lapisan film tipis ferroelectric telah digunakan untuk aplikasi dalam medan elektronik dan listrikoptik. Barium Strontium Titanate (BST) adalah material ferroelectric yang sangat atraktif dan menjadi pusat perhatian berkaitan dengan beberapa keuntungan diantaranya: rugi-rugi optik yang rendah, konstanta dielektrik rendah, dan kapasitas penyimpanan muatan yang tinggi. Tujuan dari penelitian ini adalah untuk mendapatkan sifat-sifat optik dan susunan kristal dari thin-film Ba0,55 Sr0.45Tio3 (BST)1 M. Annealing time 15 jam pada temperatur 750°C dan 775oC pada substrat silicon tipe-p dengan menggunakan metode Chemical Solution Decomposition (CSD) yang diikuti oleh proses spin coating pada 3000 rpm selama 30 detik. Pengujian sifat-sifat optik termasuk analisis transmitansi dan absorbansi, menunjukkan bahwa peningkatan suhu annealing dapat memperbaiki sifat absorbansi dan celah energi dari BST. Celah energi yang diperoleh dengan menggunakan plot tauc adalah 3.05 eV untuk temperatur annealing 750° C dan 3,225 eV untuk temperatur annealing 775o C. Susunan kristal dengan difraksi X-Ray (XRD) menunjukkan bahwa perbedaan temperatur annealing menyebabkan pergeseran sudut difraksi. Struktur pseudo tetragonal dari Ba0, 55Sr0.45Tio3 menjadi tetragonal (c / a <1) dan struktur kristal memiliki distribusi orientasi kristal.