Penentuan fungsi dielektrik kompleks dari hasil pengukuran spektroskopi ellipsometer untuk lapisan tipis amorf silikon karbon hasil deposisi sputtering
Main Authors: | Jan Ady, author, Add author: Rosari Saleh, supervisor, Add author: Dedi Suyanto, examiner, Add author: Silva, B.E.F. da, examiner, Add author: A.G. Harsono, examiner, Add author: Na, Peng Bo, examiner |
---|---|
Format: | Masters Bachelors |
Terbitan: |
Program Pascasarjana Universitas Indonesia
, 2000
|
Subjects: | |
Online Access: |
http://lontar.ui.ac.id/detail?id=90685 |
Internet
http://lontar.ui.ac.id/detail?id=90685Lokasi
Koleksi | Repository Skripsi (open) Universitas Indonesia |
---|---|
Gedung | Perpustakaan Universitas Indonesia |
Institusi | Universitas Indonesia |
Kota | KOTA DEPOK |
Provinsi | JAWA BARAT |
Kontak | Butuh informasi lebih lanjut? Hubungi pustakawan institusi ini. |