Sistem pengendali untuk pembuatan lapisan tipis dengan cara evaporasi termal dalam vakum
| Main Authors: | Hendriyanto Haditjahyono, author, Add author: Na, Peng Bo, co-promotor, Add author: Tony Mulia, examiner, Add author: Santoso Soekirno, examiner |
|---|---|
| Format: | Masters Bachelors |
| Terbitan: |
, 1999
|
| Subjects: | |
| Online Access: |
http://lontar.ui.ac.id/detail?id=75403 |