Optimasi Parameter Tekanan Deposisi pada Penumbuhan Lapisan Tipis Polykristal Silikon dengan Metode Hot Wire Cell PECVD
| Main Authors: | Amiruddin Supu; Prodi Fisika, Jurusan PMIPA, FKIP, Universitas Nusa Cendana, Kupang, Ida Usman; Jurusan Fisika, FPMIPA, Universitas Haluoleo, Kendari, Mursal Mursal; Jurusan Fisika, FPMIPA, Universitas Syiah Kuala, Aceh, Toto Winata; Lab. Fisika Material Elektronik, Jurusan Fisika FMIPA - ITB, Sukirno Sukirno; Lab. Fisika Material Elektronik, Jurusan Fisika FMIPA - ITB |
|---|---|
| Format: | Article application/pdf eJournal |
| Bahasa: | eng |
| Terbitan: |
Institut Teknologi Bandung
, 2009
|
| Subjects: | |
| Online Access: |
http://journal.fmipa.itb.ac.id/jms/article/view/86 |
Internet
http://journal.fmipa.itb.ac.id/jms/article/view/86Lokasi
| Koleksi | Jurnal Matematika & Sains |
|---|---|
| Gedung | Perpustakaan Institut Teknologi Bandung |
| Institusi | Institut Teknologi Bandung |
| Kota | KOTA BANDUNG |
| Provinsi | JAWA BARAT |
| Kontak | Butuh informasi lebih lanjut? Hubungi pustakawan institusi ini. |