Otto Chip Vazado como Transdutor de Pressão por Ressonância de Plasmons de Superfície
| Main Authors: | Maciel Neto, J.O., Oliveira Cavalcanti, Gustavo, Llamas-Garro, Ignacio, Kim, Jung-Mu, Fontana, Eduardo |
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| Format: | Proceeding Journal |
| Terbitan: |
, 2016
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| Subjects: | |
| Online Access: |
https://zenodo.org/record/838215 |
Daftar Isi:
- Um Otto chip selado com janela de quartzo foi recentemente desenvolvido para aplicações na área de sensores por ressonância de plasmons de superfície (RPS). Neste trabalho, um dispositivo tendo configuração alternativa, denominado de Otto chip vazado, foi fabricado em silício com estrutura aberta e caracterizado quanto ao efeito de RPS em 975,1 nm. São descritas as etapas de fabricação do dispositivo e seu potencial de aplicações é demonstrado como transdutor de pressão.
- Grant numbers : NANOWAVE (PIB2010BZ-00585) and the Catalan Government (2014-SGR-1551).