ПОЛУЧЕНИЕ ПЛЕНОК ГРАФИТА ВАКУУМНЫМ МЕТОДОМ
| Main Author: | Бафоев Бахром Ботирович |
|---|---|
| Format: | Article Journal |
| Terbitan: |
, 2022
|
| Online Access: |
https://zenodo.org/record/6483627 |
Daftar Isi:
- Аннотация. В статье рассмотрены концептуальные требования к методы напыления широко используются в современной микроэлектронике. Высокая скорость осаждения и атомная энергия, падающая на подложку во время осаждения, позволяют использовать эти методы для получения пленок, имеющих различные составы и структуры, особенно для низкотемпературной эпитаксии.