Pengaruh ketebalan lapisan terhadap pola interferensi pada film tipis ZnO menggunakan interferometer Michelson / Hikmatus Sa'diyah
| Main Author: | Sa'diyah, Hikmatus |
|---|---|
| Format: | Thesis NonPeerReviewed |
| Terbitan: |
, 2012
|
| Subjects: | |
| Online Access: |
http://repository.um.ac.id/20543/ |
Daftar Isi:
- KataKunciKetebalanlapisanpolainterferensifilmtipisZnOInterferometerMichelsonMaterialZnOmerupakansalahsatujenissemikonduktoryangmemilikisifatmekanikoptikdanelektrikyangbaik.SelainitulapisantipislogamoksidajugamemilikiaplikasiyangluasantaralainsebagaibahanpembuatansensorgasselsuryahybridLEDelektrodaSurfaceAcousticWafe(SAW)alatoptik-akustikpandugelombangdanefektifsebagailapisanpenghalang(antirefleksi)padaselfotovoltaik.PenelitianinibertujuanuntukmenghasilkanfilmtipisZnOdenganketebalanpadaordemikrometersampainanometeragarbisadiaplikasikansebagailapisanantirefleksipadaselfotovoltaik.SelainitupenelitianinibertujuanuntukmengetahuihubunganantaraketebalanlapisandenganpolainterferensipadafilmtipisZnO.FilmtipisZnOditumbuhkandiatassubstratkacadengantebal1mm.FilmtipisZnOditumbuhkandenganmemvariasikonsentrasiethanolsebagaipelarutyaitudengancaramenguapkanZnOkoloidyangtelahdibuatpadasuhutitikdidihethanolyaitu78o.KekentalanZnOkoloidsangatberpengaruhpadateballapisantipisZnOyangdibuat.PelapisanZnOkoloidpadasubstratkacainimenggunakanmetodedanperlakuanyangsamayaitumenggunakanmetodespincoutingdenganputaran1050rpmdanwaktu2menit.FilmtipisZnOyangdibuatdiukurteballapisannyamenggunakanEllipsometerdanInterferometerMichelsonkemudianhasilnyadibandingkan.PadapenelitianiniselaindigunakanuntukmengukurteballapisantipisZnOInterferometerMichelsonjugadigunakanuntukmengetahuigejalainterferensiyangterjadijikaketebalanlapisanfilmtipisZnOberbeda.CahayayangdigunakanpadainterferometeradalahsinarlaserHe-Nedengan9556328nmdengansudutdatanglaserHe-Ne(kemiringansampel)sebesar12o.HasilpenelitianmenunjukkanbahwaterdapatjumlahperubahanfrinjiakibatbahantransparanZnOdiputarsebesar981.HaltersebutmenunjukkansemakinbesarsudutdatanglaserHe-Ne(981)makasemakinbesarpulajumlahperubahanfrinji.DarihasilpenelitianinididapatkanteballapisantipisdariZnOsebesar186956m471956mdan852956mmenggunakanEllipsometersertadidapatkantebalsebesar1836956m4708956mdan8514956mpengukuranmenggunakanInterferometerMichelson.TeballapisanfilmtipisZnOtersebutberpengaruhterhadappolainterferensiyangterjadihaltersebutterlihatdarijarakantarfrinjidanjumlahfrinjiyangdihasilkansaatsampeldivariasiketebalannya.Jikasampelyangdigunakansemakinbesarteballapisannyamakajumlahfrinjiyangdihasilkanjugasemakinbanyakdansebaliknyajikasampelyangdigunakansemakinkecilketebalannyamakajumlahfrinjiyangdihasilkanjugasemakinsedikit.HalitudisebabkanolehpanjanglintasanyangdilewatisinarLaserHe-Ne.