Penumbuhan lapisan tipis berbasis silikon dengan sistem hot wire PECVD
| Main Author: | SYAMSU (-) |
|---|---|
| Corporate Authors: | Fakultas Teknik. Jurusan Pendidikan Teknik Mesin. Universitas Negeri Surabaya (-) |
| Other Authors: | Slamet Riyanto (-) |
| Format: | Book |
| Bahasa: | ind |
| Terbitan: |
Surabaya :
Fakultas Teknik. Jurusan Pendidikan Teknik Mesin. Universitas Negeri Surabaya
, 2007.
|
| Subjects: |