Studi tentang kualitas kristal film GaN yang ditumbuhkan dengan teknik DC-Unbalanced magnetron sputtering
| Main Author: | Hadi Susanto (-) |
|---|---|
| Corporate Authors: | Fakultas Matematika dan Ilmu Pengetahuan Alam. Universitas Negeri Semarang (-) |
| Other Authors: | Wiyanto (-), Sugianto |
| Format: | Book |
| Bahasa: | ind |
| Terbitan: |
, 2005.
|
| Subjects: |
| Item Description: |
Laporan penelitian. |
|---|