Optimasi Parameter Tekanan Deposisi untuk Penumbuhan Lapisan Tipis Mikrokristal Silikon dengan Metode HWC PECVD

oleh Amiruddin Supu; Program Studi Fisika, Jurusan Pendidikan Matematika dan Ilmu Pengetahuan Alam, FKIP, Universitas Nusa Cendana, I Wayan Sukarjita; Program Studi Fisika, Jurusan Pendidikan Matematika dan Ilmu Pengetahuan Alam, FKIP, Universitas Nusa Cendana, Fakhruddin Fakhruddin; Program Studi Fisika, Jurusan Pendidikan Matematika dan Ilmu Pengetahuan Alam, FKIP, Universitas Nusa Cendana, Fitri Suryani Arsyad; Jurusan Fisika, Fakultas Matematika dan Ilmu Pengetahuan Alam, Universitas Sriwijaya, Toto Winata; Lab. Fisika Material Elektronik, Program Studi Fisika FMIPA - ITB, Sukirno Sukirno; Lab. Fisika Material Elektronik, Program Studi Fisika FMIPA - ITB
Terbitan: Institut Teknologi Bandung, 2009