Struktur mikro film titanium nitrida yang dibuat dengan magnetron sputering reaktif

oleh Cuk Imawan, author, Add author: Rachmat Widodo Adi, supervisor, Add author: Parangtopo Sutokusumo, examiner, Add author: Darmadi Kusno, examiner, Add author: Dedi Sujanto, examiner, Add author: Aswar Manaf, examiner
Terbitan: 1995