Pengaruh TCE pada Proses Oksidasi Termis terhadap Mutu Oksida dalam Struktur MOS

oleh Jamal A. Rachman, author, Add author: T.M.S Soegandi, supervisor, Add author: Suhardjo Poertadji, supervisor, Add author: Silva, B.E.F. da, examiner, Add author: Adang Suwandi, examiner, Add author: Ronnie Higuchi Rusli, examiner, Add author: Parangtopo Sutokusumo, examiner, Add author: Darmadi Kusno, examiner
Terbitan: Universitas Indonesia, 1989