PENGARUH LAJU MOLAR Mn LARUTAN TERHADAP MIKROSTRUKTUR FILM LAPISAN GaN: Mn YANG DIDEPOSISI DI ATAS SUBSTRAT Si MENGGUNAKAN METODE CSD - Sutanto, Heri; Jurusan Fisika, Fakultas MIPA UNDIP Jl.Prof. Soedharto, SH, Tembalang-Semarang (Prosiding Seminar Nasional Sains Dan Teknologi Fakultas Teknik, 2012)