ANALISIS KINETIKA DEPOSISI LAPISAN TIPIS ZNO YANG DITUMBUHKAN DENGAN METODE METALORGANIC CHEMICAL VAPOR DEPOSITION DAN METODE ATOMIC LAYER DEPOSITION
| Main Author: | Agus Setiawan (NIM 20296501) |
|---|---|
| Format: | Masters Thesis |
| Terbitan: |
Fisika
, 2006
|
| Online Access: |
https://digilib.itb.ac.id/index.php/gdl/view/5482 |
Internet
https://digilib.itb.ac.id/index.php/gdl/view/5482Lokasi
| Koleksi | Perpustakaan Digital ITB |
|---|---|
| Gedung | Perpustakaan Institut Teknologi Bandung |
| Institusi | Institut Teknologi Bandung |
| Kota | KOTA BANDUNG |
| Provinsi | JAWA BARAT |
| Kontak | Butuh informasi lebih lanjut? Hubungi pustakawan institusi ini. |