STUDI PENGGUNAAN LARUTAN HF DALAM MODIFIKASI PERMUKAAN SILIKON (111) PADA DEPOSISI LAPISAN TIPIS KARBON DENGAN UNBALANCE MAGNETRON DC SPUTTERING
| Main Author: | CHRISTIAN CHANDRA DARMAWAN (NIM : 10208006); Pembimbing : Dr. Eng. Yudi Darma |
|---|---|
| Format: | Bachelors Thesis |
| Terbitan: |
, 2017
|
| Online Access: |
https://digilib.itb.ac.id/index.php/gdl/view/18214 |
Internet
https://digilib.itb.ac.id/index.php/gdl/view/18214Lokasi
| Koleksi | Perpustakaan Digital ITB |
|---|---|
| Gedung | Perpustakaan Institut Teknologi Bandung |
| Institusi | Institut Teknologi Bandung |
| Kota | KOTA BANDUNG |
| Provinsi | JAWA BARAT |
| Kontak | Butuh informasi lebih lanjut? Hubungi pustakawan institusi ini. |