OPTIMASI PARAMETER TEMPERATUR FILAMEN PADA PENUMBUHAN LAPISAN TIPIS POLIKRISTAL SILIKON DENGAN METODE HOT WIRE CELL PECVD - Amiruddin, S.; Prodi Fisika, Jurusan PMIPA, FKIP, Universitas Nusa Cendana, Kupang (Himpunan Fisika Indonesia, 2013)