Studi Optimasi Parameter Daya RF untuk Penumbuhan Lapisan Tipis Mikrokristal Silikon dengan Metode Hot Wire Cell PECVD
| Main Authors: | Amiruddin, S.; Prodi Fisika, Jurusan PMIPA, FKIP, Universitas Nusa Cendana, Kupang, Usman, L.; 2)Jurusan Fisika, FPMIPA, Universitas Haluoleo, Kendari, Mursal, Mursal; Jurusan Fisika, FPMIPA, Universitas Syiah Kuala, Aceh, Winata, T.; 4)Laboratorium Fismatel, Departemen Fisika, FMIPA, Institut Teknologi Bandung, Sukirno, Sukirno; 4)Laboratorium Fismatel, Departemen Fisika, FMIPA, Institut Teknologi Bandung |
|---|---|
| Format: | Article info application/pdf eJournal |
| Bahasa: | eng |
| Terbitan: |
ITB Journal Publisher, LPPM ITB
, 2013
|
| Subjects: | |
| Online Access: |
http://journals.itb.ac.id/index.php/jmfs/article/view/282 http://journals.itb.ac.id/index.php/jmfs/article/view/282/265 |
Internet
http://journals.itb.ac.id/index.php/jmfs/article/view/282http://journals.itb.ac.id/index.php/jmfs/article/view/282/265
Lokasi
| Koleksi | Journal of Mathematical and Fundamental Sciences |
|---|---|
| Gedung | Perpustakaan Institut Teknologi Bandung |
| Institusi | Institut Teknologi Bandung |
| Kota | KOTA BANDUNG |
| Provinsi | JAWA BARAT |
| Kontak | Butuh informasi lebih lanjut? Hubungi pustakawan institusi ini. |