Studi Optimasi Parameter Daya RF untuk Penumbuhan Lapisan Tipis Mikrokristal Silikon dengan Metode Hot Wire Cell PECVD - Amiruddin, S.; Prodi Fisika, Jurusan PMIPA, FKIP, Universitas Nusa Cendana, Kupang (ITB Journal Publisher, LPPM ITB, 2013)