Penentuan profil konsentrasi ion dopan pada lapisan semikonduktor silikon diimplantasi dengan ion fosfor tenaga 30 KeV dan 60 KeV
| Main Authors: | , DWIJANANTI, Pratiwi, , Prof.Dr.Ir. Prayoto, M.Sc |
|---|---|
| Format: | Thesis NonPeerReviewed |
| Terbitan: |
[Yogyakarta] : Universitas Gadjah Mada
, 1996
|
| Subjects: | |
| Online Access: |
https://repository.ugm.ac.id/56806/ http://etd.ugm.ac.id/index.php?mod=penelitian_detail&sub=PenelitianDetail&act=view&typ=html&buku_id=17671 |
Internet
https://repository.ugm.ac.id/56806/http://etd.ugm.ac.id/index.php?mod=penelitian_detail&sub=PenelitianDetail&act=view&typ=html&buku_id=17671
Lokasi
| Koleksi | UGM Repository |
|---|---|
| Gedung | Perpustakaan Pusat Universitas Gadjah Mada |
| Institusi | Universitas Gadjah Mada |
| Kota | SLEMAN |
| Provinsi | DAERAH ISTIMEWA YOGYAKARTA |
| Kontak | Butuh informasi lebih lanjut? Hubungi pustakawan institusi ini. |