Deposisi lapisan tipis nitrida silikat dengan metode implantasi ion dan analisis sifat-sifat optisnya
| Main Authors: | , WASIS, , Dr. Karyono |
|---|---|
| Format: | Thesis NonPeerReviewed |
| Terbitan: |
[Yogyakarta] : Universitas Gadjah Mada
, 1998
|
| Subjects: | |
| Online Access: |
https://repository.ugm.ac.id/42947/ http://etd.ugm.ac.id/index.php?mod=penelitian_detail&sub=PenelitianDetail&act=view&typ=html&buku_id=3812 |
Internet
https://repository.ugm.ac.id/42947/http://etd.ugm.ac.id/index.php?mod=penelitian_detail&sub=PenelitianDetail&act=view&typ=html&buku_id=3812
Lokasi
| Koleksi | UGM Repository |
|---|---|
| Gedung | Perpustakaan Pusat Universitas Gadjah Mada |
| Institusi | Universitas Gadjah Mada |
| Kota | SLEMAN |
| Provinsi | DAERAH ISTIMEWA YOGYAKARTA |
| Kontak | Butuh informasi lebih lanjut? Hubungi pustakawan institusi ini. |