PENUMBUHAN LAPISAN TIPIS SILIKON MIKROKRISTAL TERHIDROGENASI DENGAN TEKNIK HWC-VHF-PECVD
Main Authors: | Usman, Ida; Jurusan Fisika FMIPA, Universitas Haluoleo, Kendari Jl. H.E.A. Mokodompit, Anduonohu, Kendari, Sulawesi Tenggara 93232, Ismail, Darwin; Jurusan Fisika FMIPA, Universitas Haluoleo, Kendari Jl. H.E.A. Mokodompit, Anduonohu, Kendari, Sulawesi Tenggara 93232, Sutanto, Heri; Jurusan Fisika FMIPA, Universitas Diponegoro Semarang Jl. Prof. Sudharto, SH, Tembalang, Semarang, Winata, Toto; Program Studi Fisika FMIPA, Institut Teknologi Bandung Jl. Ganesha 10, Bandung, Jawa Barat, 40132 |
---|---|
Format: | Article info application/pdf eJournal |
Bahasa: | eng |
Terbitan: |
Dept. of Chemical Engineering, Diponegoro University
, 2012
|
Subjects: | |
Online Access: |
http://ejournal.undip.ac.id/index.php/reaktor/article/view/1555 http://ejournal.undip.ac.id/index.php/reaktor/article/view/1555/1311 |
Internet
http://ejournal.undip.ac.id/index.php/reaktor/article/view/1555http://ejournal.undip.ac.id/index.php/reaktor/article/view/1555/1311
Lokasi
Koleksi | REAKTOR |
---|---|
Gedung | Perpustakaan Universitas Diponegoro |
Institusi | Universitas Diponegoro |
Kota | SEMARANG |
Provinsi | JAWA TENGAH |
Kontak | Butuh informasi lebih lanjut? Hubungi pustakawan institusi ini. |