PEMBUATAN PADUAN (Ti1-xAlx)N DENGAN TEKNIK PLASMA CVD DARI BUBUK AlCl3, GAS N2 DAN H2, SERTA LARUTAN TiCl4 - Keba Moto; Departemen Fisika, Fakultas MIPA, Universitas Indonesia, 16424, Indonesia (Directorate of Research and Community Engagement, Universitas Indonesia, 2010)