Efek proses anil terhadap cacat kristal tunggal silikon yang ditumbuhkan dengan metode czochralski dan diperiksa dengan metode permukaan (ETCH PITS)
Main Authors: | Tarigan, Kontan, author, Add author: Bambang Soegijono, supervisor, Add author: Ginting, Masno, supervisor, Add author: Muhammad Hikam, examiner, Add author: Rachmat Widodo Adi, examiner, Add author: A. Harsono, examiner, Add author: Ronnie Higuchi Rusli, examiner |
---|---|
Format: | Masters Bachelors |
Terbitan: |
Universitas Indonesia
, 1997
|
Subjects: | |
Online Access: |
http://lontar.ui.ac.id/detail?id=78931 |
Internet
http://lontar.ui.ac.id/detail?id=78931Lokasi
Koleksi | Repository Skripsi (open) Universitas Indonesia |
---|---|
Gedung | Perpustakaan Universitas Indonesia |
Institusi | Universitas Indonesia |
Kota | KOTA DEPOK |
Provinsi | JAWA BARAT |
Kontak | Butuh informasi lebih lanjut? Hubungi pustakawan institusi ini. |