Perancangan MEMS variable capacitor empat tiang dengan comb-drive actuators = Design of Four Pillars MEMS Variable capacitor combined with Comb-drive Actuators
Main Author: | Sandi Tannu Wijaya, author |
---|---|
Format: | Bachelors |
Terbitan: |
Fakultas Teknik Universitas Indonesia
, 2012
|
Online Access: |
http://lib.ui.ac.id/file?file=digital/20309429-S42862-Perancangan MEMS.pdf |
Internet
http://lib.ui.ac.id/file?file=digital/20309429-S42862-Perancangan MEMS.pdfLokasi
Koleksi | Repository Skripsi (open) Universitas Indonesia |
---|---|
Gedung | Perpustakaan Universitas Indonesia |
Institusi | Universitas Indonesia |
Kota | KOTA DEPOK |
Provinsi | JAWA BARAT |
Kontak | Butuh informasi lebih lanjut? Hubungi pustakawan institusi ini. |