PENGARUH TEMPERATUR DEPOSISI PADA PENUMBUHAN FILM TIPIS SILIKON KARBIDA DENGAN METODE HOMEMADE HOT-MESH CHEMICAL VAPOR DEPOSITION
| Main Authors: | Astuti, B; Jurusan Fisika, Fakultas Matematika dan Ilmu Pengetahuan Alam, Universitas Negeri Semarang, Hashim, A M; Malaysia-Japan International Institute of Technology, Universiti Teknologi Malaysia |
|---|---|
| Format: | Article info application/pdf eJournal |
| Bahasa: | eng |
| Terbitan: |
Jurnal MIPA
, 2016
|
| Subjects: | |
| Online Access: |
http://journal.unnes.ac.id/nju/index.php/JM/article/view/5484 http://journal.unnes.ac.id/nju/index.php/JM/article/view/5484/4368 |
Internet
http://journal.unnes.ac.id/nju/index.php/JM/article/view/5484http://journal.unnes.ac.id/nju/index.php/JM/article/view/5484/4368
Lokasi
| Koleksi | Jurnal MIPA |
|---|---|
| Gedung | Perpustakaan Universitas Negeri Semarang |
| Institusi | Universitas Negeri Semarang |
| Kota | KOTA SEMARANG |
| Provinsi | JAWA TENGAH |
| Kontak | Butuh informasi lebih lanjut? Hubungi pustakawan institusi ini. |