Optimasi Parameter Tekanan Deposisi untuk Penumbuhan Lapisan Tipis Mikrokristal Silikon dengan Metode HWC PECVD - Amiruddin Supu; Program Studi Fisika, Jurusan Pendidikan Matematika dan Ilmu Pengetahuan Alam, FKIP, Universitas Nusa Cendana (Institut Teknologi Bandung, 2009)